Die Laserablation (engl. Pulsed Laser Deposition) ist ein Verfahren zur Präparation dünner Filme.

Kupfer-Ablation

Cobalt-Ablation

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- Kupfer-Ablation (cu-pld.mpg, 848kb)
- Cobalt-Ablation (co-pld.mpg, 528kb)

Grundschema:
Ein Targetmaterial wird mit Hilfe eines gepulsten Lasers 'ablatiert' und auf einem Substrat abgeschieden.

Voraussetzung:
Verfügbarkeit eines stabilen Lasers mit Impulsdauern t_p 30ns, Energiedichten 10J/cm² und möglichst kleiner Wellenlängefür die sogenannte konventionelle (Nanosekunden) PLD.

hier: ArF-Excimerlaser mit = 193nm, t_p20ns (mittlere Energiedichte im unfokussierten Laserstrahl ca. 200mJ/cm² maximal) und Quarzglaslinsen (entspiegelt) zur Strahlfokussierung.