Direkt nach der Präparation werden die Schichten auf ihre Qualität hin untersucht. Dies geschieht an einem Röntgendiffraktometer der Fa. Philips (PW 1825). Mit der Eulerwiege ist es möglich, auch zur Oberfläche verkippt liegende Netzebenen zu untersuchen. Aus den verschiedenen Scanarten kann man folgende Informationen erhalten:

1. Art der Schicht Mit einem Theta-2Theta Scan über einen weiten Bereich kann man mit Hilfe der Lage und der Intensitäten der Peaks feststellen, welche Achse(n) der Elementarzelle senkrecht zur Substratoberfläche orientiert ist (sind) und ob fremde Phasen im Film enthalten sind.
2. Gitterparameter Aus den 2 Theta-Werten dreier verschieden orientierter Netzebenen kann man die Gitterparameter berechnen.
3. Qualität des Films Mit einem Omega-Scan, der auch Rocking Kurve genannt wird, kann man Aussagen über die Güte des Films machen. Typische Halbwertsbreiten unserer Filme liegen zwischen 0.2 und 0.3 Grad.
4. In-plane-Orientierung und Verzwillingung Mit einem Phi-Scan an einer schiefen Substratnetzebene und einem an einer schiefen Filmnetzebene kann man die Verdrehung der Filmachsen relativ zur Substratachse bestimmen. Verzwillingungen erkennt man an der Aufspaltung der Filmpeaks in zwei nah beieinander liegende.

Ansprechpartner: Annette Feucht

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