Ionentechniken, die zur Veränderung oder zum Maßschneidern von Mateialeigenschaften eingesetzt werden, lassen sich in ihrem Einsatz danach klassifizieren, ob sie während des Filmwachstums eingesetzt werden oder aber nach vollendeter Filmpräparation. Dabei unterscheiden sich die zum Einsatz kommenden Ionenenergien ganz wesentlich. Im ersten Fall sind es niedrige Energien von typisch 100 eV, im zweiten Fall mittlere Energien von typisch 300 keV. Dabei unterscheidet man noch den Fall der Implantation - die Ionen bleiben im bestrahlten Film als Fremd- oder Eigenatome stecken - oder der Bestrahlung ("irradiation") - hier ist die Reichweite der eingesetzten Ionen größer als die Filmdicke, die Ionen erzeugen also im Idealfall nur Strahlenschaden. Im Folgenden sollen anhand von Beispielen die physikalischen Fragestellungen, an denen wir interessiert sind, dargestellt werden:

Ansprechpartner: Prof. Dr. P. Ziemann

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