Allgemeine Kurzinformation zum Thema:

Eine der Grundformen von Nanostrukturen, welche moderne Nanotechnologie erzeugen können muss, sind verschieden geformte Löcher in vorgegebenen Substraten. Dazu gehören insbesondere auch zylindrisch geformte Nanolöcher, also solche mit möglichst senkrechten Wänden und hohem Aspektverhältnis (Tiefe/ Durchmesser). Neben der Nanoskaligkeit mit Durchmessern von typisch 10 nm und Tiefen von 100 nm ist häufig eine periodische Anordnung dieser Löcher erwünscht.

In unserer eigenen Arbeitsgruppe wurde in jüngster Zeit eine Methode entwickelt, um genau obigen Anforderungen an Nanolöcher in dem speziellen Substratmaterial Silizium zu erfüllen.

Aufgabenstellung:

In der experimentellen Diplom-/ Master-Arbeit soll die für Si entwickelte Methode der Präparation von geordneten Nanolöchern auf Glassubstrate übertragen werden, die besonders für nachfolgende optische Untersuchungen von Interesse sind.

Angewandte Techniken:

Allgemeine Reinraumtechniken, insbesondere reaktives Ionenätzen (RIE). Ferner hochauflösende Sekundärelektronen-Mikroskopie (SEM).