Institut für Mikro- und Nanomaterialien
- 1:
Lehre. - 2: Forschung.
- 3: Mitarbeiter.
- 4: Ausstattung.
- 4.1:
akustische Mikroskopie. - 4.2: Tencor.
- 4.1:
- 5: Projekte.
- 6: Kompetenzzentrum Werkstoffe der Mikrotechnik.
- 7: Stellenangebote.
- 8: Intranet.
- 9: Anfahrt.
- 10: Fakultät.
Ausstattung des Instituts für Mikro- und Nanomaterialien
Dem Institut für Mikro- und Nanomaterialien der Universität Ulm stehen für Forschungs- und Entwicklungsaufgaben modernste Laborausrüstungen zur Verfügung. Die Ausstattung erlaubt die Präparation von Werkstoffproben, deren Analyse und die Herstellung von Legierungen. Innerhalb von Verbund-Projekten kommt diese vielfältige Gerätetechnik auch den Partnern zugute. Eine Auswahl der Ausrüstungen ist nachfolgend aufgelistet.
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Synthese-Methoden
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- Hot-Filament Gasphasenabscheidung HF-CVD (Fa. Cemecon)
- Reaktive Ionenätzen RIE (Fa. Aurion)
- Sputter-Anlage (Fa. Lesker)
- Melt-Spinner (Fa. Edmund Bühler)
- Acr-Melter (Fa. Edmund Bühler)
- Elektronenstrahlverdampfer (Fa. Balzers)
- Sputterkammer und Plasma-Ätzer (1×4" und 3×3", Fa. Hüttinger)
- CVR-System zur Herstellung von Leuchtstoffen
- Kügelmühlen (Fa. Spex, Fa. Fritsch, Fa. ZOZ Simolayer CM01 & CM20)
- Levitationsanalge zur Herstellung hochreiner Schmelzen (im Aufbau)
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Präparations-Methoden
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- Metallographie-Labor mit
- Schleifmaschinen
- Poliermaschinen
- Rohrofen (bis 1200 °C) Fa. Centrotherm
- Heizplatten mit Magnetrührer / Temperaturkontrolle
- Ultraschallbäder
- Metallographie-Labor mit
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Charakterisierung struktureller Eigenschaften
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Gerät Firma Modell Bemerkung REM Hochauflösendes Raster-Elektronen-Mikroskop Zeiss Leo 1550FE incl EDX / EBSD XRD Röntgendiffraktometer Siemens D 5005 incl. Kleinwinkelstreuung (SAXS) XRD Röntgendiffraktometer Philips X-PERT MPC incl. Texturanalyse XRD Röntgendiffraktometer PANalytical X-PERT PRO incl. Heizkammer und
positions-sensitiven SensorAFM Rasterkraftmikroskop Digital Instruments Nanoscope FT-IR Fourier-Transformations-Spektroskopie Bruker Optics Tensor27 incl. Hyperion-Mikroskop SAM 
akustisches MikroskopKSI PL Photolumineszenz Jobin Yvon Fluourolog-3 incl. Lebensdauermessung optisches Mikroskop Olympus optisches Mikroskop Leica -
Charakterisierung magnetischer Eigenschaften
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- Vibrationsmagnetometer VSM - Fa. Lakeshore 735
- Kerr-Mikroskop
- Moke-Magnetometer
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Charakterisierung thermischer Eigenschaften
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- Dynamische Differenzkalorimetrie (DSC) - Fa. Perkin Elmer
- Dilatometer
- Dünnschichtstressmessung - Fa. Tencor
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Charakterisierung elektrischer Eigenschaften
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- 4-Punkt-Messplatz
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Charakterisierung rheologischer Eigenschaften
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- Rheometer (Fa. Malvern)