Mikroelektronik-Technikum
- 1:
Direktorium. - 2: Leiterplattentechnologie.
- 3: Halbleitertechnologie.
- 3.1:
- 3.2:
Wer wir sind. - 3.3: Was benötigt wird.
- 3.4: Wo wir sind.
- 3.5: Was wir anbieten.
- 3.6: Erfolge. 3.7:
- 3.8: Adresse.
- 3.9: Mitarbeiter.
- 3.10: Sicherheit. 3.11:
- 3.12: Grundriß.
- 3.13: Technische Daten.
- 3.14: Ausstattung. 3.15:
- 3.16: Prozessierung.
- 3.17: Aufbautechnik.
- 3.18: Charakterisierung.
- 3.2:
Halbleitertechnologie
Herzstück der Halbleitertechnologie des Mikroelektronik-Technikums ist der Reinraum. Für Arbeiten mit geringeren Ansprüchen an die Raumqualität stehen zur Ergänzung die Labore in der peripheren Technologie zur Verfügung.
