Epitaxie

MOVPE: 2 x Aixtron
HVPE: Aixtron
MBE: 2 x Riber32

Beschichten

Aufdampfanlagen

Temescal FC 1800
Balzers PLS 570
Leybold QE 1200
Edwards 306 Cryo

Sputtern / CVD

Perkin Elmer 2400
Baltec SCD 050
PECVD: Oxford Plasmalab
Oxford Plasma Technology

Ätzen

Barrelätzer: Plasmalab µ-etch
ECR: Oxford 80
ICP: Oxford 100

Lithographie

Elektronenstrahlschreiber: Leica EBPG 5 HR
Maskaligner: 2 x Süss MJB3, 1 x Süss MJB4
Flutbelichter: OAI DUV

Messtechnik

Spitzenmessplatz Süss PM5
Paramateranalysator
Ellipsometer Gärtner
Magnetowiderstand Tencor m-gage
Oberflächenprofilometer: (Bruker Dektak)

Lichtmikroskope (z.B. Nikon Mikrophot FXA)
Konfokales Mikroskop: Keyence
REM: Hitachi S4000
XRD: Siemens HXRD D5000, Bruker Discovery

Wärmebehandlung

Temperöfen
Rapid Thermal Annealing AST