Der Reinraum des Mikroelektronik Technikums

Das Herzstück der Mikro- und Nanofabrikation des Mikroelektronik-Technikums ist der Reinraum. Für Arbeiten mit geringeren Ansprüchen an die Raumqualität stehen zur Ergänzung die Labore in der peripheren Technologie zur Verfügung.