Institut für Analytische und Bioanalytische Chemie
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Focused Ion Beam Center UUlm
Das FIB Center UUlm verfügt über 2 hochauflösende FIB/SEM Systeme der Firma FEI:
Helios Nanolab 600 und Quanta FEG 3D
Diese höchstauflösenden Zweistrahl-Systeme kombinieren Ga+-Ionenstrahl- und Elektronenstrahlmikroskopie in einem Gerät, wobei die Ionensäule in einem Winkel von 52° zur Elektronensäule angebracht ist. Somit können durch den Ionenstrahl induzierte maskenlose Probenmodifikationen (z.B. lokalisiertes Ätzen, Abtragen, Aufbringen, etc.) im Nano-Maßstab simultan mittels Elektronenstrahlmikroskopie in Realzeit beobachtet, abgebildet oder analysiert werden.
(
GIT Labor-Fachzeitschrift 11/2012 S. 787)
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Gregor Neusser.




