AFM Labor: UHV Kammer und Pumpen

Turbomolekularpumpe mit Drehschieberpumpe

Hersteller: Pfeiffer Vacuum GmbH

Turbopumpe TMU 262 P mit TC100, Flutventil und Ausheizmanschette

Netzgerät: DCU 100 (Pfeiffer) für Turbomolekularpumpe TMU 262 P

Drehschieberpumpe DUO 10 M (230V) mit Zeolithfalle

Vorsicht:

  • TMU 262 P /DCU 100: nur Original Verbindungskabel benutzen
  • Anschalten der Turbopumpe nur mit eingeschalteter Vorpumpe und geöffneten Ventile an der Zeolithfalle. Achtung: Turbopumpe zur Präpatationskammer hat dieselbe Vorpumpe, dort Ventile schliessen beim Anpumpen. Status Hauptventil zur UHV-Kammer vor dem Start überprüfen.
  • beim Belüften: Ventile an Zeolithfalle schliessen
  • Ausheizen der Turbopumpe nur mit Wasserkühlung
  • im Störungsfall: verantwortliche Person im Labor benachrichtigen
  • Eingriff in Elektronik nur durch geschultes Fachpersonal (z.B. Gerd Bräth)
  • Achtung: Oberfläche der Drehschieberpumpe wird heiß im Betrieb

Ionengetterpumpe

Hersteller: Varian

Netzgerät: Star cell power unit 929-0172

Vorsicht: Hochspannung 7 kV, kurzzeitig Ströme bis zu 1 A

  • nur Original Verbindungskabel zur Ionengetterpumpe benutzen
  • Netzgerät nicht öffnen, niemals im offenen Zustand betreiben
  • Anschalten der Ionengetterpumpe nur unter Hochvakuumbedingungen
  • Ausheizen der Ionengetterpumpe nur mit abgeschalteter Ionengetterpumpe
  • im Störungsfall: verantwortliche Person im Labor benachrichtigen
  • Eingriff in Elektronik nur durch geschultes Fachpersonal (z.B. Gerd Bräth)