Institut für Mikro- und Nanomaterialien

Ausstattung des Instituts für Mikro- und Nanomaterialien

Dem Institut für Mikro- und Nanomaterialien der Universität Ulm stehen für Forschungs- und Entwicklungsaufgaben modernste Laborausrüstungen zur Verfügung. Die Ausstattung erlaubt die Präparation von Werkstoffproben, deren Analyse und die Herstellung von Legierungen. Innerhalb von Verbund-Projekten kommt diese vielfältige Gerätetechnik auch den Partnern zugute. Eine Auswahl der Ausrüstungen ist nachfolgend aufgelistet.

  • Hot-Filament Gasphasenabscheidung HF-CVD (Fa. Cemecon)
  • Reaktive Ionenätzen RIE (Fa. Aurion)
  • Sputter-Anlage (Fa. Lesker)
  • Melt-Spinner (Fa. Edmund Bühler)
  • Acr-Melter (Fa. Edmund Bühler)
  • Elektronenstrahlverdampfer (Fa. Balzers)
  • Sputterkammer und Plasma-Ätzer (1×4" und 3×3", Fa. Hüttinger)
  • CVR-System zur Herstellung von Leuchtstoffen
  • Kügelmühlen (Fa. Spex, Fa. Fritsch, Fa. ZOZ Simolayer CM01 & CM20)
  • Levitationsanalge zur Herstellung hochreiner Schmelzen (im Aufbau)

  • Metallographie-Labor mit
    • Schleifmaschinen
    • Poliermaschinen
  • Rohrofen (bis 1200 °C) Fa. Centrotherm
  • Heizplatten mit Magnetrührer / Temperaturkontrolle
  • Ultraschallbäder

GerätFirmaModellBemerkungREMHochauflösendes Raster-Elektronen-Mikroskop ZeissLeo 1550FEincl EDX / EBSDXRDRöntgendiffraktometerSiemensD 5005 incl. Kleinwinkelstreuung (SAXS) XRDRöntgendiffraktometerPhilipsX-PERT MPC incl. TexturanalyseXRDRöntgendiffraktometerPANalyticalX-PERT PROincl. Heizkammer und
positions-sensitiven SensorAFMRasterkraftmikroskopDigital InstrumentsNanoscopeFT-IR Fourier-Transformations-SpektroskopieBruker OpticsTensor27incl. Hyperion-MikroskopSAMakustisches MikroskopKSIPLPhotolumineszenzJobin YvonFluourolog-3incl. Lebensdauermessungoptisches MikroskopOlympusoptisches MikroskopLeica

  • Vibrationsmagnetometer VSM - Fa. Lakeshore 735
  • Kerr-Mikroskop
  • Moke-Magnetometer

  • Dynamische Differenzkalorimetrie (DSC) - Fa. Perkin Elmer
  • Dilatometer
  • Dünnschichtstressmessung - Fa. Tencor

    • 4-Punkt-Messplatz

    • Rheometer (Fa. Malvern)