Röntgen-Photoelektronen-Spektrometer (Teil der Core Facility EMMA)

Phi 5800 ESCA System (47.0.211)

Kommerzielle XPS-Apparatur Physical Electronics 'Phi 5800 ESCA System'

Röntgenquellen

  • Monochromatische Al-Kα Strahlug für hohe laterale (1 mm) und chemische Auflösung
  • Al/Mg-Kα Laborquelle für einfache Messungen

Proben-Neutralisierung

  • BaOx-Kathode zur Kompensation von Aufladungseffekten auf halbleitenden und elektrisch isolierenden Proben

Tiefenprofil-Analyse

  • Ar+-Ionenquelle ('Sputter Gun') zur Erstellung von Tiefenprofilen der Proben (< 1 µm)

Proben-Spezifikationen

  • Feste Proben
    • Massive Festkörper: Untersuchung wie erhalten
    • Pulverproben: Präparation auf einem leitgfähigen Kohlenstoff-Pad
  • Ausgegast und trocken (Messung unter UHV-Bedingungen)

Proben-Größe 

  • 10 x 10 mm² ausreichend (Analysierte Fläche 0.8 x 2 mm²)
  • Maximale Größe 50 x 50 mm² lateral, 10 mm Höhe

Proben-Halter

Proben