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Das Raster-Elektronenmikroskop

 Elektronenmikroskopie Uni Ulm


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Das Raster-Elektronenmikroskop

Das Raster-Elektronenmikroskop (REM; scanning electron microskope/SEM) wird zur Darstellung von Oberflächen benutzt. Das Prinzip (siehe Abbildung) ähnelt dem eines Fernsehbildschirms.
Durch Erhitzen eines Wolframdrahtes (Kathode) wird ein Primärelektronenstrahl erzeugt, der durch einen Steuerzylinder (Wehnelt-Zylinder) fokussiert und an einer Anode eine Beschleunigung erfährt. Anschließend wird der Primärelektronenstrahl durch elektromagnetische Spulen (Kondensoren und Endlinse) fein gebündelt und trifft so fokusiert auf das Objekt auf. Mit Hilfe des XY-Ablenksystems tastet der Primärelektronenstrahl das Objekt Zeile für Zeile ab. Beim Auftreffen des Elektronenstrahls auf das Objekt werden nach Wechselwirkung unter anderem rückgestreute Elektronen und Sekundärelektronen von der Probe emmitiert.
Die energiereichen rückgestreuten Elektronen stammen von der Oberfläche und aus der Tiefe des Präparats. Die energieärmeren Sekundärelektronen werden durch inelastische Wechselwirkungen, bei der Primärelektronen an der Elektonenhülle der Objektatome abgelenkt werden, erzeugt. Sie entstehen nur aus oberflächennahen Atomschichten. Die langsamen Sekundärelektronen lassen sich mit einer Spannung von ca. 200V auf einen Detektor fokusieren. Schnelle Rückstreuelektronen lassen sich so nicht ablenken und auf dem Detektor einfangen. Am Detektor entstehen in einem Szintillator Lichtblitze, die von einem Photomultiplier elektrisch rückverwandelt und verstärkt werden. Dieses elektrische Signal wird auf den Bildschirm eines Monitors übertragen. Das Bild wird durch zeilenweises Abtasten des Objekts aufgebaut. Die Plastizität der Objekte entsteht unter anderem dadurch, daß der Detektor schräg zum Objekt angeordnet ist. Aus diesem Grund erscheinen dem Detektor zugewandte Details heller (mehr Sekundärelektronen treffen auf den Kollektor auf) als abgewandte.

Weitere Detektionsmöglichkeiten:

a)  Rückstreuelektronen

Die rückgestrahlten Elektronen können an einem zusätzlichen, großflächigen Detektor (BSE = back scattered electron detector) eingefangen werden. Die Anzahl der Rückstrahlelektronen ist ein Maß für die Dichte des Objekts: Je dichter die Materie, umso höher die Anzahl der rückgestreuten Elektronen.

b)  Röntgenstrahlung

Neben Sekundär- und Rückstreuelektronen entstehen auch Röntgenstrahlen. Diese können durch einen EDX ( = energiedispersive Röntgenanalyse) Detektor erfaßt werden. Die stoffliche Zusammensetzung eines Objekts läßt sich durch diese Methode ermitteln, da jedes Element ein charakteristisches Röntgenspektrum aussendet.
 

Präparationsverfahren:

Für die Betrachtung eines Objekts im Raster-Elektronen-Mikroskop müssen zwei Grundvoraussetzungen erfüllt sein: Die Probe muß a) trocken und z.T. fixiert und b) gut leitfähig sein.

a)  Beim Trocknen einer organischen Probe können durch den starken Wasserverlust Strukturartefakte entstehen. Um dem vorzubeugen werden die Präparate chemisch mit Glutaraldehyd fixiert. Anschließend erfolgt eine Entwässerung der Probe in einer aufsteigenden Alkoholreihe.
 Der kritischte Schritt der Präparation ist die Trocknung:

b)  Bei isolierenden Objekten kommt es unter Beschuß von Elektronen zu Aufladungen, die zu Bildverzerrungen führen. Aus diesem Grund wird die Oberfläche mit einem dünnen leitfähigen Film überzogen. Dies wird durch Besputtern bewerkstelligt, d.h. durch Aufbringung einer sehr dünnen (2 bis 20 nm) Metallschicht (Au, Pd, Cr, o.ä.) mittels Kathodenzerstäubung in einer Glimmentladung.
 

Im Praktikum aufgenommene Bilder