Ausstattung des Reinraums
Aufdampfanlagen:
- Temescal FC 1800
- Balzers PLS 570
- Leybold QE 1200, L560
- Edwards 306 Cryo
Sputtern / CVD:
- Perkin Elmer 2400
- Baltec SCD 050
- Oxford Plasmalab PECVD
- Oxford Plasma Technology
- ECR: Oxford 80
- ICP: Oxford 100
- Sauerstoff-Verascher
- CF4-Verascher
- Elektronenstrahlschreiber: Leica EBPG 5 HR
- Maskaligner: Süss MJB4 (2x)
- Coater
- Hot Plate
- Spitzenmessplatz Süss PM5
- Oberflächenprofilometer: Bruker Dektak
- Schichtdickenmessgerät
- XRD Siemens HXRD D5000
- XRD Bruker Discovery
- Oxidationsofen
- Rapid Thermal Annealing AST
- Waferploierer
- Wafer-Bonder
- Flip-Chip-Bonder
- Lichtmikroskope (z.B. Nikon Mikrophot FXA)
- Konfokales Mikroskop: Keyence
- Stereolupe