Praktikum - Halbleitertechnologie

Studiengänge

Master Elektrotechnik und Informationstechnologie > Praxismodul
Master Informationssystemtechnik > Praxismodul
Master Communication and Information Technology > Practical Module

Beschreibung

In diesem Laborpraktikum werden verschiedene Herstellungstechniken der Mikrosystemtechnik genutzt um Metall-Semiconductor Field Effect Transistors (MESFETs) aus GaAs herzustellen. Diese werden dann anschließend elektrisch charakterisiert. Die, in diesem Praktikum durchgeführten Arbeitsschritte werden in ähnlicher Weise auch bei der industriellen Herstellung von Halbleiterbauelementen genutzt, wenn auch in automatisierter Form. Daher gibt dieses Praktikum einen Einblick darin, was zwischen dem Senden der Designs an einen Hersteller (tape-out) und dem Moment, an dem die fertigen Chips ausgeliefert werden, passiert ist.

Das Praktikum findet als einwöchiges Blockpraktikum in den Semesterferien statt. Die Termine werden über Moodle geplant, meldet euch bei Interesse daher unbedingt im Moodle-Kurs an! Zu der Woche im Reinraum und Labor kommt eine sorgfältige Vorbereitung und das Verfassen eines ausführlichen Protokolls. Die Anleitung findet ihr auch auf der Seite des Moodle-Kurses.

ENGB 70446

Verantwortlicher Dozent

Prof. Dr.-Ing. habil. Dietmar Kissinger

Umfang

Praktikum

SWS: 4

ECTS: 5