Akustische Mikroskopie

Die akustische Mikroskopie (auch Ultraschallmikroskopie genannt) ist eine zerstörungsfreie Untersuchungsmethode, die es ermöglicht „das Innere“ eines Bauteils abzubilden. Allgemein bekannt ist die Ultraschalluntersuchung auf dem Gebiet der Medizin, um Organe darzustellen. Die akustische Mikroskopie ist das Pendant im technischen Bereich.

Ultraschallwellen dringen in die zu untersuchende Probe ein und aus der reflektierten Schallintensität wird ein Bild generiert. Defekte, wie z. B. Poren, Delaminationen, etc. erzeugen starke Reflexsignale, so dass Bauteilfehler schnell und zuverlässig bestimmt werden können. Bei mehrlagigen Proben ist aus der Kenntnis des Aufbaus eine Bestimmung der Fehlerlage in der Tiefe (z-Achse) möglich, da die einzelnen Ultraschallreflexionen verschiedenen Ebenen zugeordnet werden können. Beispielhaft sei die Untersuchung in der Aufbau- und Verbindungstechnik an Loten erwähnt, bei der eine Beurteilung der Güte von Lotverbindungen möglich ist, ohne diese zu zerstören.

Das zu untersuchendes Probenmaterial sollte folgende Eigenschaften aufweisen:

  • "kompatibel" zum Kopplungsmedium Wasser
  • Messbereich nicht größer als 100 mm × 100 mm
  • möglichst ebene und glatte Oberfläche

Kurzinfo

Anwendung:
Zerstörungsfreie tiefenselektive Untersuchung räumlich ausgedehnter Proben


Bildgebendes Verfahren:
Unterschiede in den akustischen Eigenschaften (Impedanz)