Unser Institut erforscht und entwickelt innovative Mikro- und Nanosysteme: von den grundlegenden Materialeigenschaften über funktionale Bauelemente bis hin zu intelligenten und adaptiven Systemen. Durch die enge Verknüpfung von Grundlagenforschung, Mikro- und Nanofabrikation sowie Systeminte-gration entwickeln wir neue Technologien für moderne Sensorik, Aktorik und Informationsverarbeitung, die in den Bereichen biomedizinische Technologien (z. B. Hörgeräte), Robotik und autonome Systeme, Optimierung und Überwachung industrieller Prozesse sowie Mensch-Maschine-Interaktionen Anwendung finden. 

Unsere Forschung verbindet Materialien, Elektronik und intelligente Datenverarbeitung und ermöglicht somit neuartige technische Systeme im Mikro- und Nanomaßstab.