Der NanoBuilderTM ist ein Software Modul von FEI für schnelles Prototyping komplexer Strukturen basierend auf Elektronen- oder Ionenstrahl-induzierten Abscheidungsprozessen (EBID, IBID) oder Gas-unterstützten Ätzprozessen. Sequenzen unabhängiger Modifikationsschritte werden für individuelle Schichten definiert und abgearbeitet. Somit können komplexe 3D-Strukturen erzeugt werden.