Das FIB Center UUlm verfügt über 2 hochauflösende FIB/SEM Systeme der Firma FEI:

Helios Nanolab 600 und Quanta FEG 3D

Diese höchstauflösenden Zweistrahl-Systeme kombinieren Ga+-Ionenstrahl- und Elektronenstrahlmikroskopie in einem Gerät, wobei die Ionensäule in einem Winkel von 52° zur Elektronensäule angebracht ist. Somit können durch den Ionenstrahl induzierte maskenlose Probenmodifikationen (z.B. lokalisiertes Ätzen, Abtragen, Aufbringen, etc.) im Nano-Maßstab simultan mittels Elektronenstrahlmikroskopie in Realzeit beobachtet, abgebildet oder analysiert werden. 

Seit Januar 2025 ist das FIB Center Teil der Core Facility EMMA der Universität Ulm.